日本SMC縫閥材質(zhì)說明XGT221-46236-1A

日本SMC縫閥材質(zhì)說明XGT221-46236-1A

XGT 系列 縫閥

●對于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合

閥尺寸 22 軸數(shù):2軸　波紋管;對應(yīng)晶片尺寸:200mm

閥體形式 1 無盒式

開口窗尺寸 46236 高X寬:46X236mm;對應(yīng)晶片尺寸:200mm

門O型圈材質(zhì) 1 FKM

磁性開關(guān)及插頭 A 磁性開關(guān):D-A93(帶2個(gè)開關(guān));插頭:導(dǎo)線:0.5m(無插頭)

相關(guān)型號

D-M9BL

Y300-A

AFM30-02-A

VT325V-035G/DC24V

IL100-02

IL220-02

G36-2-01

G36-10-01

Y300-A

AFM30-02-A

AS3201F-03-08SA

CXSM15-20

CXSM10-30

ZH10BSA-06-06

AS1201F-M5-06A

VF3130-5DUD1-02

AR20-02BE-B

MDBB80-50Z-M9BL

MY1B32-800Z-M9PL

CDG1BN32-300Z-M9BW

SY9120-5DD-03

AW30-N02BG-2-B

ZH15DSA-08-10-10

MY1M50-600

ZH13BS-08-10

CD85N16-50-A

SY7120-5LZD-02

MGQM12-20

MXS16-50

RBC2015

CQ2B32-5DZ

MGQM25-50

C85F16

MXS16-20

D-M9PSDPC

3C-D-C73L

AS2201F-01-10SA

AKH10-00

AKH08-00

AKH06-00

VSA4140-04

VSA4140-06

VPA742-1-04A

RDQA80TF-75M-M9BL

ZM103H-K5LZ

AW40-04-A

AW30-02BG-A

VFRA4111-041Q1-59D

VNA201A-10A

3C-D-Z73

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