接液后,檢測液面。 由于覆蓋有氟樹脂,
因此,耐化學品性能優(yōu)異。
E32系列 特點 40 耐真空
可在10-5 Pa的高真空環(huán)境中使用。
備有耐熱溫度120°C型和200°C型。
E32系列 特點 42
FPD/半導體/太陽能電池行業(yè)
限定反射型
E32系列 特點 43 玻璃基板校準
檢測距離精度;0.2mm以下
距離發(fā)生變化,檢測位置也不會改變。
特點是抗傾斜性強。
E32系列 特點 45
玻璃基板映射
在難以檢測的R面也可穩(wěn)定檢測。
E32系列 特點 47
通過濕法工藝檢測玻璃的有無
無需接觸,玻璃即使有彎曲也可進行穩(wěn)定檢測。
采用球狀頭,可實現不受液體影響的穩(wěn)定檢測。
E32系列 特點 49
對射型 E32系列 特點 50 晶片映射
E32系列 特點 52 易于設置在機械臂上的薄型形狀。
光軸調整簡單(機械軸與光軸的偏差僅為±0.1Typ)
狹窄的晶片之間也可準確檢測晶片。
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